安徽十一选五一定牛网|安徽十一选五走势图表
联系我们收藏本站全国服务热线:13330068822
欢迎来到江西亚联净化工程有限公司官网!
公司新闻
南昌洁净室的温湿度控制
时间: 2017-11-13 09:46:32来源: 江西亚联净化工程有限公司

洁净室中的温湿度控制

南昌洁净室温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。?#26412;?00 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般?#31995;停?#22240;为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%?#20445;?#20919;却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各?#36136;?#25925;。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的?#39029;净?#23398;吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%?#20445;?#21448;由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳湿度范围为35-45%。

上一页:南昌洁净室对气压的规定

下一页:没有了…

联系我们CONTACT US

江西亚联净化工程有限公司

地址:江西省南昌市西湖区洪城路778号星河国际商务写字楼11楼

联系人:王先生 手机:13330068822

电话:0791-86629911/86629900

传真:0791-86629090 

?#26102;啵?30025

官网:http://www.jxyl.com.cn


在线客服
返回顶部
安徽十一选五一定牛网 北京十一选五走势图遗漏查询 那不勒斯vs 辽宁快乐12计划 燕赵风采20选5开奖公告 单身贵族闯关 四川麻将怎么胡牌 比利亚雷尔vs毕尔巴鄂竞技 警察与土匪走势图 天津时时彩开奖公告 09拜仁慕尼黑直播